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CDG025D电容薄膜规
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能,先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点
 产品介绍

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能,先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整,抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。独特的传感器屏敝(专利技术)保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。

优点
◆   全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆   电源接通后的快速稳定性
◆   暴露大气压后的快速恢复性
◆   抗腐蚀性陶瓷传感监测器
◆   卓越的长期讯号稳定性
◆   温度补偿
◆   保护传感器防止污染
◆   一键调零功能
◆   宽范围电源
◆   2个设点(选项)
◆   RS232接口(选项)
 
用  途
要求高的应用条件下,精确而快速的压强测量:
◆   用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体制造设备
◆   资料贮存和显示器制造设备
◆   工业真空设备
◆   常用高精度真空测量
 
订货资料
CDG025D,温度补偿型

 

全刻度范围     法兰型式


Torr
Pascal Mbar 1/2”tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR
1000 133322 1333 375-000 375-001 375-002 375-003
100 13332 133 376-000 376-001 376-002 376-003
10 1333 13.3 377-000 377-001 377-002 377-003
1 13.3 0.13 378-000 378-001 378-002 378-003
0.1 13.3 0.13 379-000 379-001 379-002 379-003

CDG025D,温度补偿型,带2个设点和RS232接口
全刻度范围      法兰型式

Torr Pascal Mbar 1/2”tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR
1000 133322 1333 375-300 375-301 375-302 375-303
- 110000 1100 375-500 375-501 375-502 375-503
200 26664 267 382-300 382-301 - -
100 13332 133 376-300 376-301 376-302 376-303
- 10000 100 376-500 376-501 376-502 376-503
20 2666 26.7 - - - -
10 1333 13.3 377-300 377-301 377-302 377-303
- 1000 10 377-500 377-501 377-502 377-503
1 133 1.3 378-300 378-301 378-302 378-303
- 100 1 378-500 378-501 378-502 378-503
0.25 33.3 0.33 385-300 385-301 385-302 385-303
0.1 13.3 0.13 379-300 379-301 379-302 379-303
- 10 0.1 319-500 379-501 379-502 379-503

粗体=标准产品
其他法兰型式和全刻度范围,请提出要求

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